更新時(shí)間：2023-04-25
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并提供“開(kāi)關(guān)”狀態(tài)量信號(hào)給控制室顯示真空區(qū)段閥的“開(kāi)關(guān)”狀態(tài)。控制原理就是使用冷規(guī)作為真空傳感器，當(dāng)電子槍，各區(qū)段中有一個(gè)區(qū)段的真空度下降到設(shè)定值時(shí)，真空度的變壞使真空計(jì)的模擬信號(hào)電平產(chǎn)生變化使區(qū)段閥全部關(guān)閉，并鎖死，保持其它區(qū)段的真空，等待處理和維修。該系統(tǒng)集成在兩塊電路板上，組裝在機(jī)箱內(nèi)，前面板有閥開(kāi)關(guān)指示燈，和手動(dòng)開(kāi)關(guān)，停機(jī)檢修時(shí)采用“手動(dòng)”模式，可以手動(dòng)開(kāi)關(guān)每一只閥門。運(yùn)行期間，采用“自動(dòng)”模式，系統(tǒng)全自動(dòng)控制閥門，不用人為干預(yù)。后面板輸出采用多芯插座，有驅(qū)動(dòng)閥門的，有連接中控室控制采樣的，分類明確，安裝連接很方便。由于集成化程度高，機(jī)箱小巧，造價(jià)低
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